1200度單溫區(qū)CVD系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述：CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ，最高溫度可以達(dá)到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。

產(chǎn)品型號(hào)：
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間：2024-12-31
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詳細(xì)介紹

簡(jiǎn)介：

這款CVD系統(tǒng)是由3路供氣系統(tǒng)+1200度單溫區(qū)管式爐+真空系統(tǒng)組成

技術(shù)參數(shù)：

	設(shè)備型號(hào)	MFLCVD406-12
性能	控溫范圍	室溫-1200℃
	工作溫度	≤1100℃
	控溫精度	＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃
	恒溫波動(dòng)	±1℃（測(cè)試點(diǎn)為1000℃）

	升溫速度	推薦1000度以下≤10℃/min，最快升溫速度≤30℃/min
	降溫速度	700℃以上≤10℃/min
	爐表溫度	爐體表面溫度小于室溫+10（測(cè)量點(diǎn)為1000℃）
構(gòu)成	外裝	冷軋鋼板，表面耐藥性涂裝
	爐體	陶瓷纖維
	傳感器	1200度K型熱電偶
	加熱元件	HDR優(yōu)質(zhì)電阻合金絲
	冷卻風(fēng)葉	軸流風(fēng)扇
	爐體結(jié)構(gòu)	雙層殼體結(jié)構(gòu)，配有風(fēng)冷系統(tǒng)
控制器	控制方式	PID控制
	設(shè)定表示	數(shù)字設(shè)定/數(shù)字顯示
	超溫保護(hù)	控制器一體型
	超溫設(shè)定	數(shù)字設(shè)定
	運(yùn)行功能	定制運(yùn)行/程序運(yùn)行（30段程序控溫）
	附加功能	偏差修正、停電補(bǔ)償、鎖鍵功能
	定時(shí)器	1分-99小時(shí)59分以及999小時(shí)50分?jǐn)?shù)字設(shè)定、自動(dòng)運(yùn)行、快速自動(dòng)停止
真空系統(tǒng)	真空度	1.選配機(jī)械泵可達(dá)真空 10的-2次pa 2.選配我司高真空系統(tǒng)（機(jī)械泵+分子泵組合），可達(dá)1.33*10的-4次方pa（空爐狀態(tài)）
	隔熱管堵	2只，氧化鋁材料
	爐管	石英管
	真空法欄	不銹鋼真空法蘭
	壓力表	-0.1至0.15mpa
供氣系統(tǒng)	質(zhì)子流質(zhì)計(jì)	量程和氣體：5-500SCCM、1-10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類(lèi)型）流量控制精度 ±1.0%F.S
	路數(shù)	1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路）
	接頭類(lèi)型	雙卡套不銹鋼接頭
	壓力真空表表	-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格
安全	工作環(huán)境	RT±5-40℃
安全	使用保障	開(kāi)門(mén)斷電超溫報(bào)警漏電保護(hù) 過(guò)溫保護(hù)
規(guī)格	爐體結(jié)構(gòu)	臥式
	爐管尺寸	Φ60mm
	電源電壓	220V50HZ
	輸入功率	4KW
出廠清單	管式爐	一臺(tái)
	供氣系統(tǒng)	一套
	高溫手套	卡斯頓一雙
	爐勾	一把
	氣管	一根
	設(shè)備說(shuō)明書(shū)	一份
	儀表說(shuō)明書(shū)	一份
	保修卡	一份
選購(gòu)品	移動(dòng)爐架	不銹鋼
選購(gòu)品	觸摸屏儀表485轉(zhuǎn)換接口	50段編程，可實(shí)現(xiàn)與計(jì)算機(jī)連接。通過(guò)專(zhuān)用的計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)來(lái)完成與單臺(tái)或多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能。